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半導(dǎo)體先進(jìn)封裝，非硅基MEMS（微納LDI光刻設(shè)備、材料及工藝）
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單晶壓電薄膜沉積
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高溫高真空度，可實(shí)現(xiàn)單晶壓電薄膜的沉積，兼容Si基CMOS工藝
晶圓級封裝光刻機(jī)
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大景深，實(shí)時(shí)對焦的投影光刻系統(tǒng)，大大提升FOWLP和SIP封裝的良率
非硅基MEMS光刻機(jī)
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雙面Panel/R2R 投影光刻系統(tǒng)，對位精度高，同時(shí)兼顧產(chǎn)能
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